光刻机是什么_常识家百科

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光刻机是什么光刻机是什么专业学的
1、光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System.2、一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻..(4)人阅读时间：2023-05-14

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