这种传感器利用了半导体的压阻效应。普通半导体材料的应变敏感系数优于金属材料。基于单晶硅的压阻效应,半导体工艺制作的元件,当半导体受到压力时,其电阻会发生变化,从而形成压力变化的信号输出。
2.传统弹性应变传感器:
这种传感器的特点是测量范围宽、精度高、稳定性好、使用寿命长,能抵抗高温、高速、高压和振动的影响,因此更适合在汽车检测环境中使用。
3.厚膜压力传感器;
该传感器是一种新型的力敏传感器。它是利用厚膜电阻的压阻效应研制的,其应变电阻是一种具有压阻效应的厚膜钌酸盐电阻,采用厚膜工艺直接印刷烧结在陶瓷弹性体上。
4.陶瓷压阻传感器:
这种传感器由陶瓷材料经特殊工艺制成,是一种干式陶瓷压力传感器。陶瓷是一种高弹性、耐腐蚀、耐磨损、耐振动的优质材料。
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